Белевський Володимир Петрович - Енциклопедія Сучасної України
Beta-версія
Белевський Володимир Петрович

БЕЛЕ́ВСЬКИЙ Володимир Петрович (01. 01. 1936, с. Високе Курської обл., РФ – 28. 08. 2002, Київ) – фахівець у галузі електроніки. Д-р тех. н. (1977), проф. (1981). Урядові нагороди. Закін. Ленінгр. політех. ін-т (1960). Працював на Сум. з-ді електрон. мікроскопів та електроавтоматики (1960– 63); у Київ. НДІ мікроприладів: нач. лаб. (1963–69, 1977–90), нач. відділу (1969–77); у Нац. тех. ун-ті України «Київ. політех. ін-т»: проф. каф. електрон. приладів і пристроїв (1981–90) та каф. радіоконструювання та вироб-ва апаратури (1990–99). Від 1999 – на пенсії. Осн. наук. дослідж. у галузі тонкоплівкових технологій мікроелектроніки; електронно-, іонопроменевих та іоноплазмових інтегрованих обробок; вакуум. устаткування.

Пр.: Перспективы применения ионного осаждения тонких пленок в микроэлектронике // Оптоэлектроника и полупроводник. техника. 1982. Вып. 2 (співавт.); Кинетика формирования силицидных слоев при термоионном осаждении титана на монокристаллический кремний // Поверхность. Физика. Химия. Механика. 1991. № 6 (співавт.); Formation of titanium silicides by titanium deposition onto silicon with simultaneous self-ion bombardment // Thin Solid Films. 1996. Vol. 278 (співавт.); Интегрированные ионные процессы (ИИП) в тонкопленочных технологиях микроэлектроники // Вопр. атом. науки и техники. Сер. Вакуум, чистые материалы, сверхпроводники. 1998. Т. 10, вып. 4; Method and experimental arrangement for aluminium thin film deposition from r. f. metal plasma with simultaneous self-ion bombardment // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 2000. Vol. 170 (співавт.).

В. М. Дзигун

Стаття оновлена: 2003