Ширшов Юрій Михайлович

ШИРШО́В Юрій Михайлович (25. 01. 1940, м. Чкалов, нині Оренбург, РФ) — фізик. Доктор фізико-математичних наук (1992), професор (1996). Закінчив Чернівецький університет (1963). Працював 1963–70, 1975–2003 в Ін­ституті фізики напів­провід­ників НАНУ: від 1986 — завідувач лабораторії опто­електрон­них і мікро­електрон­них біо­сенсорів, від 1995 — завідувач від­ділу функціональної опто­електроніки; 1970–75 — в Ін­ституті мікро­приладів Міністерства електрон­ної промисловості СРСР (обидва — Київ). Від 2003 — на пенсії. Наукові дослідже­н­ня: електрохімічні явища на межі роз­поділу електроліт-напів­провід­ник та адсорбційні явища на поверх­ні систем метал-ді­електрик-кремній; пружне роз­сіюва­н­ня світла надчи­стою поверх­нею кремнієвих пластин; оптичні та електрон­ні явища в шаруватих структурах та на межі роз­поділу середовище-поверх­ня твердотільного сенсора. Роз­робив метод ви­значе­н­ня однорідності ді­електрика за швидкістю його травле­н­ня та прилад для реалізації методу; за­пропонував метод скануючої лазерної дефекто­скопії для контролю чистоти поверх­ні. Брав участь у створен­ні аналізатора поверх­ні АДЕЛАР, низки опто- та мікро­електрон­них сенсорів токсичних домішок у повітрі та водному середовищі, першого в Україні ім­муносенсора прямої реєстрації, сенсорних масивів типу «штучний ніс» і «штучний язик».