Белевський Володимир Петрович
БЕЛЕ́ВСЬКИЙ Володимир Петрович (01. 01. 1936, с. Високе Курської обл., РФ — 28. 08. 2002, Київ) — фахівець у галузі електроніки. Доктор технічних наук (1977), професор (1981). Урядові нагороди. Закін. Ленінгр. політех. інститут (1960). Працював на Сум. заводі електрон. мікроскопів та електроавтоматики (1960– 63); у Київ. НДІ мікроприладів: нач. лаб. (1963–69, 1977–90), нач. відділу (1969–77); у Нац. тех. університеті України «Київ. політех. інститут»: професор кафедри електрон. приладів і пристроїв (1981–90) та каф. радіоконструювання та виробництва апаратури (1990–99). Від 1999 — на пенсії. Осн. наук. дослідж. у галузі тонкоплівкових технологій мікроелектроніки; електронно-, іонопроменевих та іоноплазмових інтегрованих обробок; вакуум. устаткування.
Додаткові відомості
- Основні праці
- Перспективы применения ионного осаждения тонких пленок в микроэлектронике // Оптоэлектроника и полупроводник. техника. 1982. Вып. 2 (співавтор); Кинетика формирования силицидных слоев при термоионном осаждении титана на монокристаллический кремний // Поверхность. Физика. Химия. Механика. 1991. № 6 (співавтор); Formation of titanium silicides by titanium deposition onto silicon with simultaneous self-ion bombardment // Thin Solid Films. 1996. Vol. 278 (співавтор); Интегрированные ионные процессы (ИИП) в тонкопленочных технологиях микроэлектроники // Вопр. атом. науки и техники. Сер. Вакуум, чистые материалы, сверхпроводники. 1998. Т. 10, вып. 4; Method and experimental arrangement for aluminium thin film deposition from r. f. metal plasma with simultaneous self-ion bombardment // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 2000. Vol. 170 (співавтор).
Завантажити статтю
Людина 
