Кияк Степан Григорович

КИЯ́К Степан Григорович (21. 05. 1947, Львів) – фізик, фахівець у галузі мікроелектроніки. Син Григорія, брат Володимира та Юліана Кияків. Доктор фізико-математичних наук (1990), професор (1993). Закін. Львівський університет (1970). Працював у Фіз.-мех. інституті АН УРСР (1970–71); від 1973 – у Інституті приклад. проблем механіки і математики НАНУ (обидва – Львів): від 1991 – провідний науковий співробітник Досліджує нерівноважні фіз.-мех. процеси у твердих тілах, зумовлені дією на матеріали потуж. лазер. та іонних потоків. Запропонував низку нових методів оброблення матеріалів і технологій формування структур для мікроелектрон. приладів.

Пр.: Laser solid-phase doping of semiconductors // Applied Surface Science. 1989. Vol. 43; Лазерные твердофазные процессы в технологии микроэлектроники // Микроэлектроника. 1991. Т. 20, вып. 2; Влияние режимов ионного легирования и фотонного отжига на параметры имплантированных слоев n–GaAs:Si // ТКЭА. 2005. № 3; Нестійкості формування поверхні розділу фаз у зонах дії імпульсного лазерного випромінювання на напівпровідники // Вісн. Нац. університету «Львівська політехніка». Елементи теорії та прилади твердотіл. електроніки. 2006. № 569; Reconstruction of lattice structure of ion-implanted near-surface regions of Hg_1-xCd_xTe epitaxial layers // Thin Solid Films. 2008. Vol. 516 (усі – співавт.).

В. О. Міщенко

Основні праці

Laser solid-phase doping of semiconductors // Applied Surface Science. 1989. Vol. 43; Лазерные твердофазные процессы в технологии микроэлектроники // Микроэлектроника. 1991. Т. 20, вып. 2; Влияние режимов ионного легирования и фотонного отжига на параметры имплантированных слоев n–GaAs:Si // ТКЭА. 2005. № 3; Нестійкості формування поверхні розділу фаз у зонах дії імпульсного лазерного випромінювання на напівпровідники // Вісн. Нац. університету «Львівська політехніка». Елементи теорії та прилади твердотіл. електроніки. 2006. № 569; Reconstruction of lattice structure of ion-implanted near-surface regions of Hg_1-xCd_xTe epitaxial layers // Thin Solid Films. 2008. Vol. 516 (усі – співавт.).

завантажити статтю