Воронін Валерій Олександрович
ВОРО́НІН Валерій Олександрович (25. 03. 1940, Київ) — матеріалознавець. Доктор технічних наук (1986), професор (1988). Закін. Львів. політех. інститут (1963), де відтоді й працює (нині Нац. університет «Львівська політехніка»): 1985–91 — зав., від 1992 — професор кафедри напівпровідник. електроніки. Наукові дослідження у галузі мікроелектроніки. Кер. наук. школи з фіз.-хім. моделювання технол. процесів отримання напівпровідник. матеріалів із газової фази.
Додаткові відомості
- Основні праці
- Методика расчета равновесий в гетерогенных системах InP–GaP–HCl // Изв. вузов. Химия и хим. технология. 1983. Т. 26, № 10 (співавтор); Silicon Wikters for Mechanical Sensors // Sensors and Actuators. 1992. Vol. 30 (співавтор); In-kinetics study of gas phase formation in the system Ga/In–AsCl3–HCl–H2 by UV-spectroscopy // The International Society for Optical Engineering. 2001. Vol. 4355 (співавтор); Низкотемпературный рост гетероструктур соединений A3B5 методом химических газотранспортных реакций // Нові технології. 2004. № 1–2.